99,7% aluminiumoxidwaferpoleringsplade med hul
Produktfunktioner
Høj renhed aluminiumoxid, 99,7%-99,9% aluminiumoxid.
Høj mekanisk styrke, høj slidstyrke, høj elektrisk isolering, høj kemisk stabilitet, god varmebestandighed og korrosionsbestandighed. I øjeblikket er brugen af keramiske slibeskiver til slibning af halvledersiliciumwafere den mest overlegne og banebrydende slibemetode. Den dobbeltsidede slibeproces bruges til at slibe den skårne siliciumwafer, og kvaliteten af slibeskiven forbedres ved at forbedre slibeprocessen (skivemateriale, slibevæske, slibetryk og slibehastighed osv.). Især brugen af keramiske plader i stedet for støbejernsplader for at undgå slibning på waferens hovedoverflade forårsaget af ar eller forurening, reducere tilførslen af metalioner, reducere den efterfølgende bearbejdning af silicium, forkorte den efterfølgende proces (korrosion) tid, forbedre produktionseffektiviteten og reducere tabet af siliciumbearbejdning, hvilket forbedrer udnyttelsen af silicium betydeligt.
Kemiske/fysiske parametre
| ejendom | |
| Densitet (g/cm3) | 3,94-3,97 |
| Renhed (%) | 99,7-99,9 |
| Vickers-hårdhed (GPa) | ≥17 |
| Trepunktsbøjningsstyrke (MPa) | 440-550 |
| Termisk diffusionskoefficient (Cm2/s) | 0,0968 |
| Elasticitetsmodul (GPa) | 356 |
Produktspecifikationer
Φ850 mm, tykkelse 45 mm eller mindre af højrent aluminiumoxidskive, ring (størrelse kan tilpasses).
Vi kan også producere følgende specifikationer for high-end keramik:
1, 1500x600x25mm under det lange bræt, strimmel, firkantet bræt, ark;
2. Styreskinner under 1000x45x45mm;
3, φ300~600x længden på 500 mm eller mindre tomme rør, cylinder, elektrisk vakuumrør osv.
4, kan tilpasse en række forskellige former og specifikationer for keramiske produkter af høj renhed af aluminiumoxid.
Fordele ved Chemshun Keramik
Vi har uafhængige immaterielle rettigheder til PIBM's selvhærdende støbeproces og specialiserer os i produktion af fine keramiske komponenter af høj kvalitet. Den nye proces modvirker deformation og revner i store keramiske våde barrer under fremstillingsprocessen, og produktets ydeevne er betydeligt optimeret sammenlignet med store keramiske dele, der fremstilles med traditionelle metoder.
Den keramiske poleringsskive af aluminiumoxid, der produceres af Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd., anvender PIBM-selvhærdende støbeproces. Den internationalt avancerede PIBM-teknologi har med succes løst det centrale problem med revneformning af aluminiumoxid med stor diameter. PIBM-keramisk teknologi vil åbne endnu et lyspunkt for den keramiske industri. Vi producerer ikke kun keramiske poleringsplader af aluminiumoxid af høj kvalitet, men inkluderer også andre serier af store, ren aluminiumoxidkeramiktyper, såsom 1200*500*20 mm keramiske substrater til LCD-produktionsudstyr, halvledertransmissionsskinner, vakuumkomponenter, generelle mekaniske dele og skudsikker keramik.
